作為磁氣頭的 ABS 加工用，很多的傲人實際成效，小型的，成本性能很高的投影方式的曝光裝置。

可以由レチクル像的精密臨摹的細微模式形成的曝光裝置。
根據投影鏡頭光學系的新設計，高性能的曝光成為可能，能在各式各樣的領域當中使用。而且，由於組件設計，接受要求的版本升級容易。
ABS 加工用：在磁氣頭的 Row 上施行 ABS 加工，形成為了頭浮出控制的類型的曝光機（ABS：Air Bearing Surface ）

●TTR ※方式由高精確度調準
更加觀察時大大地轉換NA，使之提高著條準制度。※TTR ：Through The Reticle
●總計處理量大幅提高
階段高速化之外又加上，處理·控制的增加速度，最優化處理量大幅度提高了。
●簡單操作
在 OS 上採用Windows XP ，實現良好的操作性。根據運算子模式、工程師模式的切換，從基本操作到高超的操作的學得容易。
●以小型的的尺寸省空間
用小型的的尺寸實現高剛性，省空間也貢獻。
●採用新設計的自動焦點方式
●設置．立縮短時間
從設置立提高的時候，不需要特別的調整工作，能縮短時間，線引進容易。

◆曝光機本體
架台　超高壓水銀燈和照明光學系 網用台
觀察光學系　投影鏡頭　樣品用台 自動焦點裝置
◆架部
電腦、自動焦點控制器、鏡台驅動程式、馬達控制器
◆其他
超高壓水銀燈用電源（本體架的台下部設置）、電纜類