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UV物鏡 5×/50×/100×
 

根據採用該焦點距離 95 mm,從短波長到可視範圍的寬廣的範圍達成無色了。

 

 
 
1.半導體晶圓切割機的光學系統的加工用鏡頭
2.應用於光罩修補,能處理 Open / Short Defect 複合型修補機.
3.搭配雷射修補機台對Array段做修補.
 


倍率 5X 50X 100X
NA
( 開口數)
0.13 0.4 0.5
W.D.
(mm)
28.3 5.2 2.0
  *從 248 nm 到 C 線
(656.5 nm )無色。

*明視野觀察的可
  調準
*YAG2(532nm),3倍波(355nm),4倍(266nm)及(546.1nm)無色
UV用第 2 物鏡用有另準備外賣。