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台北 綜元 公司
TEL: (02) 2999-2234
FAX: (02) 2999-2441
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NIKON 特殊儀器
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UV / NUV 鏡頭
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UV物鏡 5×/50×/100×
根據採用該焦點距離 95 mm,從短波長到可視範圍的寬廣的範圍達成無色了。
1.半導體晶圓切割機的光學系統的加工用鏡頭
2.應用於光罩修補,能處理 Open / Short Defect 複合型修補機.
3.搭配雷射修補機台對Array段做修補.
倍率
5X
50X
100X
NA
( 開口數)
0.13
0.4
0.5
W.D.
(mm)
28.3
5.2
2.0
*從 248 nm 到 C 線
(656.5 nm )無色。
*明視野觀察的可
調準
*YAG2(532nm),3倍波(355nm),4倍(266nm)及(546.1nm)無色
*
UV用第 2 物鏡用有另準備外賣。